Litografické technologie II.

Litografické metody závisí na druhu záření použitého k přenosu obrazové informace na rezist a na interakci záření s rezistem. Kromě fotolitografie se používá také elektronová litografie, iontová litografie a rentgenová litografie.


Szendiuch a kol., Výroba součástek a konstrukčních prvků (VUT Brno, 2006)
Wikipedia
Archiv autora