Litografické technologie I.

Litografické technologie se používají při přenosu obrazových informací o topografii čipu, to je pro vytváření rozměrově definovaných funkčních oblastí (elektronických prvků) na polovodičovém materiálu. Ve většině případů je tento přenos prováděn přes vrstvu rezistu nanesenou na vrstvu substrátové desky. Nejpoužívanější metodou je fotolitografie.


Szendiuch a kol., Výroba součástek a konstrukčních prvků (VUT Brno, 2006)
Wikipedia
Archiv autora